P-820系列半導體氣體流量計

概要：與P-810系列一樣廣泛應用于半導體制造工藝中的各種氣體流量測控?？芍谱鲙в写呕砷_關警報裝置。

主要用途：半導體生產設備

參數：

測量對象：全部液體,全部氣體

流量范圍：空氣，最小范圍:4～20 mL/min (nor)，最大范圍:12～60 L/min (nor)

水，最小范圍:5～50 mL/min，最大范圍:0.2～2 L/min

空氣在0c.OMP ( 1 atm)的流量。

選擇流量范圍時,請到下載中心下載本產品PDF參照標準流量表

氣體的使用莊力不為OMPa時，請電話咨詢。

有效刻度范圍：10:1一-部分為10:2

有效指示精度：P-823:±3o.S.

P-821 :土5%F.S.

最高使用壓力：0.8MPa

最高使用溫度：120℃

材質構成：

標準：可選

本體接液部：scS14，sus316 (sus316L亦可)

錐管：耐熱玻璃

墊圈：FPM(max.120c)，cR (max.80 c)

本體側板：sPCc，C2801P

面板：亞克力

連接方法：

標準：Rc1/4

可選：Rc1/8,NPT178 1/4,3/8sw,1/4,3/8VGR等。詳情請參照基本形式編碼表。詳情請參照產品選型指南。

安裝方法：

標準：面板前安裝六角螺母

可選：：安裝遮光板

重量（標準型)：約0.6 kg (P-821)

P-820系列半導體氣體流量計

※刻度長度根據流量范圍變化。

☆1測量范圍小于100 mL/min (nor)有效刻度為10:2

☆2測量范圍大于30 Lmin (nor）有效刻度為10:2

☆3測量范圍大于1 Lmin有效刻度為10:2

☆4測量范圍大于10 L/min (nor）有效刻度為10:2

☆5測量范圍大于1 L/min有效刻度為10:2

☆6液體的粘度為1.OmPa - sa

☆7液體的粘度為1.0mPa - s。

重慶稼釔科技有限公司主要從事流體系統(tǒng)的技術咨詢、服務、產品供應及系統(tǒng)成套。主要服務于泛半導體行業(yè)高純輸送系統(tǒng)、儀器儀表、環(huán)保等行業(yè)，為客戶提供高純輸送系統(tǒng)項目建設、高純管道系統(tǒng)零部件材料供應、儀表管閥件產品、流量計及液位計產品、噴霧系統(tǒng)等流體技術類相關產品，公司積累了相關行業(yè)的國際化品牌資源，為客戶提供高性價比的產品和專業(yè)的技術服務。公司團隊來自于行業(yè)頭部企業(yè)，積累豐富的行業(yè)服務經驗，公司秉承服務專業(yè)、做事勤懇、產品優(yōu)良、創(chuàng)造雙贏的理念精心服務客戶。

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